原子力显微镜高精度美国Bruker Dimension 系列 35pm RMS 8寸晶圆_行业动态_行情

原子力显微镜高精度美国Bruker Dimension 系列 35pm RMS 8寸晶圆

2024-12-27 10:17 浏览:94

原子力显微镜的工作模式是以针尖与样品之间的作用力的形式来分类的。主要有以下3种操作模式：接触模式（contact mode) ，非接触模式（ non - contact mode) 和敲击模式( tapping mode）。

特征：

u 低漂移和低噪音水平

u 配置有专有ScanAsys原子成像优化技术，可以简易快速稳定成像

u 测试样品尺寸可达：直径210mm，厚度15mm

u 温度补偿位置传感器使Z轴和X-Y轴的噪音分别保持在亚-埃级和埃级水平，并呈现出***的高分辨率。

u 全新的XYZ闭环扫描头在不损失图像质量的前提下大大提高了扫描速度。

u 探针和样品台的开放式设计使Icon 可胜任各种标准和非标准的实验。

u ***的布鲁克AFM的模式和技术，如高次谐波共振模式，和***的不失真高温成像技术--采用对针尖和样品同时加热的方法，程度减少针尖和样品之间的温差，避免造成成像失真。

部分选择项：

参数：

X-Y扫描范围： 90?m x 90?m（标准）, 85?m （最小）

Z扫描范围： 10um（标准成像与压力模式），9.5um（最小）

X-Y噪声（闭环）： ≤0.15 nm RMS，标准成像带宽，(可达625 Hz)

Z噪声（闭环）： 35pm RMS，标准成像带宽，（可达625HZ）

50pm RMS，力曲线带宽，（0.1HZ-5KHZ）

非线性积分（X-Y-Z）： <0.5%

样品大小：真空吸盘210mm，直径 ≤210mm，厚度 ≤15mm

电动定位平台（X-Y）： 180mm × 150mm 检测区域;

2?m重复性, 单向;

3?m 重复性，双向；

光学显微镜：               500万像素的数码相机;
                               180微米至1465μm可视面积;
                               数码变焦和机动焦点

控制器： NanoScope V

工作台：整合了所有控制器，符合物理和人体工学设计

隔振装置：集成化，气动

隔音装置：可在连续85DBC环境下连续工作