JMS-6510A钨灯丝扫描电镜培训内容SEM+EDS原理SEM样品制备要求SEM+EDS使用方法步骤SEM+EDS使用注意事项SEM原理电子-试样相互作用二次电子背散射电子X射线SEM与EDS一体化表面形貌组成元素二次电子(SE)像—形貌衬度二次电子是被入射电子轰击出的原子的核外电子。特点：能量小于50eV，在样品中的平均自由程只有10～100nm；
二次电子的多少依赖于入射束与试样表面法线间的夹角a,a大，二次电子多。二次电子成像特点：主要反映样品表面10nm左右的形貌特征，像的衬度是形貌衬度，衬度的形成主要取于样品表面相对于入射电子束的倾角。
二次电子像分辨率高、无明显阴影效应、场深大、立体感强，是扫描电镜的主要成像方式，特别适用于粗糙样品表面的形貌观察。SEM原理背散射电子(BSE)像—原子序数衬度背散射电子是由样品反射出来的初次电子。特点：能量高，从50eV到接近入射电子的能量，可从样品中较深的区域逸出(微米级)，被散射电子发射系数η随原子序数Z的增大而增加。背散射电子成像特点：主要反映样品表面的成分特征，即样品平均原子序数Z大的部位产生较强的背散射电子信号，形成较亮的区域；而平均原子序数较低的部位则产生较少的背散射电子，形成较暗的区域，这样就形成原子序数衬度（成分衬度）。背散射像的分辨率要低，主要应用于样品表面不同成分分布情况的观察，比如有机无机混合物、合金等。SEM原理SEM原理A-BA+B+S日本电子SEM背散射电子检测器由A、B和S三部分组成。A+B形成组成相，A-B形成凹凸像，A+B+S形成混合相A+BcompositionmodeA-BtopographiymodeA+B+SshadowmodeX射线能谱（Energy-dispersiveX-rayspectroscopy,EDS）EDS的物理基础是基于样品的特征X射线。当样品原子内层电子被入射电子激发或电离时，会在内层电子处产生一个空缺，原子处于能量较高的激发状态，此时外层电子将向内层跃迁以填补内层电子的空缺，从而释放出具有一定能量的特征X射线。特征X射线特点：从试样0.5~5μm深处发出的特征X射线是从试样0.5~5μm深处发出的，它的波长与原子序数之间满足莫塞莱定律：不同的波长